涡旋式真空泵的含义及特点

涡旋式真空泵的含义及特点
一、真空泵的含义

       真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

二、涡旋式真空泵的基本特点

　　涡旋式真空泵由涡旋式压缩机演变而来，机构原理最早由法国人Cruex于1905年发明，但受限于当时的工艺技术并未应用于实际，直到上世纪80年代前后才应用于真空技术领域。其结构简单，零部件少；间隙小、泄漏率小，具有较高的压缩比，在较宽压力范围内有稳定的抽速；并且其压缩腔内需冷却水与润滑油，维护简单，可靠性高。

　　由于涡旋式真空泵自身型线的特点，一般情况下，涡旋式真空泵的抽速不超过1000L/min；抽速大于4L/s的涡旋泵一般采用双侧涡旋结构，而抽速小于4L/s的则多采用单侧涡旋结构，极限真空在1Pa左右。