涡旋式真空泵的结构特点及应用

时间：2024-10-13

涡旋式真空泵的结构特点及应用
结构特点
　　涡旋式真空泵的结构简单，主要由5个部件组成：①动静涡旋盘副与基座；②曲轴；③密封件；④防自转机构；⑤电机涡旋真空泵结构
　　涡旋式真空泵的主要运动件只有动涡旋盘，动力传递简单，相同尺寸下运动半径小，所以其具备了结构简单紧凑、运行平稳，几乎无磨损，消耗功率小等特点，这是其他类型的干式真空泵所不具备的。
应用范围
　　涡旋式真空泵抽速较小，同时也不适宜用于有毒、易燃易爆气体、腐蚀性气体及药品、溶剂、粉状体等介质工况环境。因此目前涡旋式真空泵较多应用于分析仪器、半导体芯片生产线、液晶显示器生产线和科研设备上。因其可以直接在大气压下启动，很多时候作为分子泵与小型低温泵的前级泵出现。